一种管座芯片共晶装置
基本信息
申请号 | CN202111336080.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113990789A | 公开(公告)日 | 2022-01-28 |
申请公布号 | CN113990789A | 申请公布日 | 2022-01-28 |
分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/52(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 俞韶军;范思雨;步晨嘉;付昭辉 | 申请(专利权)人 | 浙江辛帝亚自动化科技有限公司 |
代理机构 | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 | 代理人 | 王丽丹 |
地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双富路28号D座6楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种管座芯片共晶装置,包括底座、共晶台和控制系统,所述共晶台下方设有加热座,加热座内设有加热棒,用于加热共晶台,还包括氮气加热装置、TO管座定位夹取装置和顶杆定位装置;所述TO管座定位夹取装置包括管座吸嘴、手指夹片、导轨滑块和气缸,所述手指夹片固定在导轨滑块两侧,通过气缸实现水平移动,所述管座吸嘴设置于手指夹片中间,通过吸嘴安装座固定,并连接气管接头,外接气源;所述氮气加热装置设置于共晶台一侧,包括氮气加热组件和共晶台罩。本发明解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题。且在共晶台上方设置氮气加热装置,保证共晶温度的稳定性,共晶效果好,管座芯片共晶成品达到品质要求。 |
