一种掺杂装置
基本信息
| 申请号 | CN202122002055.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216074099U | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN216074099U | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C30B31/16（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 侯明超;周宏邦;贾海洋;王淼;张强;孔凯斌;刘伟;娄中士;王立刚 | 申请（专利权）人 | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 010070内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种掺杂装置，包括：盛放固态掺杂剂的承载仓和与所述承载仓一体连接设置的导流仓，所述承载仓下端内壁为弧形面，可使气化后的掺杂剂沿其内壁统一进入所述导流仓中逐次向熔硅液扩散，以使掺杂剂完全与熔硅液混合。本实用新型的掺杂装置，结构设计简单，弧形结构的承载仓有利于掺杂剂向下分流扩散，且不会留死角；更有利于掺杂剂阶梯性地朝同一个向下的方向扩散留出进入熔硅液内；只有一个通孔的结构可使掺杂剂分层次地向熔硅液扩散，使掺杂剂逐步充分地与熔硅液混合，提高其溶解率，降低电阻率。 |
