一种单晶炉导流筒固定装置及运输机构
基本信息
| 申请号 | CN202021695449.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213232569U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213232569U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | C30B15/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 田宇翔;娄中士;袁长宏;李鹏飞;田旭东;马飞 | 申请（专利权）人 | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种单晶炉导流筒固定装置，包括顶架、底架和连接所述顶架和所述底架的支杆组件，所述顶架与所述导流筒外壁相适配；所述导流筒被设置为贯穿所述顶架，并被内置于所述支杆组件围成的空间内悬空设置。本实用新型还提出一种包括该固定装置的运输机构。本实用新型固定装置，可稳固承载放置导流筒，并可保护导流筒整体的完整性，仅仅需要更换不同尺寸的顶架即可放置不同尺寸的导流筒，结构简单且易于加工，成本低且实用性强，使得整体拆卸导流筒的时间大大缩短。采用该固定装置的运输机构，易于操作且安全可控，使导流筒完整地被拆卸出单晶炉，不仅可避免在拆清过程中热场导流筒被损坏风险。 |
