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一种集成真空测量室

基本信息

申请号	CN202021625251.6	申请日	-
公开（公告）号	CN212779730U	公开（公告）日	2021-03-23
申请公布号	CN212779730U	申请公布日	2021-03-23
分类号	G01L21/00(2006.01)I;G01D21/02(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	应建明;*俊鹤;温玉珺;陈昊	申请（专利权）人	杭州富士达特种材料股份有限公司
代理机构	杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	乐俊
地址	311500浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区凤翔路178号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种集成真空测量室，包括室体、若干功能单元、用于连接待抽空件的真空快卸法兰和用于连接抽空机组的抽空机组连接法兰，真空快卸法兰与室体密封连接，抽空机组连接法兰与室体之间设有气动高真空挡板阀，气动高真空挡板阀的两端分别与室体及抽空机组连接法兰密封连接；所述的室体上设有若干用于连接功能单元的功能接口，功能接口的接管与室体密封连接，功能单元连接在功能接口上或直接与室体连接。本实用新型的功能单元均连接在室体上，功能单元高度集成，减少密封连接面数量，确保测量环境真实可靠，使尺寸紧凑，缩短真空管道尺寸，减少流导损失，提高抽空效率，功能齐全，部分功能单元可以更换，适应多种使用环境，安装拆卸方便。