一种EEP溶剂及其除杂工艺和除杂系统

基本信息

申请号 CN202011450344.4 申请日 -
公开(公告)号 CN112661642B 公开(公告)日 2022-03-08
申请公布号 CN112661642B 申请公布日 2022-03-08
分类号 C07C67/56(2006.01)I;C07C67/48(2006.01)I;C07C67/60(2006.01)I;C07C67/54(2006.01)I;C07C69/708(2006.01)I 分类 有机化学〔2〕;
发明人 杨长青;杨晓红 申请(专利权)人 北京化学试剂研究所有限责任公司
代理机构 北京维正专利代理有限公司 代理人 赵万凯
地址 102600北京市大兴区安定镇安定南街1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及电子化学品的技术领域,更具体地说,它涉及一种EEP溶剂及其除杂工艺和除杂系统。其除杂工艺包括依次进行的以下步骤:抽取工业级EEP溶剂依次进行分子筛吸附、纳滤、离子交换以及反应精馏步骤,得到成品EEP溶剂;EEP溶剂除杂工艺的除杂系统,包括依次设置的原料罐、分子筛吸附柱、纳滤装置、离子树脂交换柱、精馏塔以及成品罐。本发明的除杂方法得到的EEP溶剂可用于微电子生产,其中的杂质水平显著降低。