一种用于CVD连续制备石墨烯的设备

基本信息

申请号 CN201521049268.0 申请日 -
公开(公告)号 CN205187875U 公开(公告)日 2016-04-27
申请公布号 CN205187875U 申请公布日 2016-04-27
分类号 C01B31/04(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 童磊;周忠福;王会利;王云龙;胡琪卉;李玲;郝福瑞;张玲玉;俞健舒;张家平 申请(专利权)人 安徽易能新材料科技有限公司
代理机构 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 代理人 吴明华
地址 243051 安徽省马鞍山市慈湖国家级高新技术产业开发区园中路398号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于CVD连续制备石墨烯的设备,包括管式炉和石英管道,所述石英管道穿过所述管式炉,所述石英管道的两端分别设有第一法兰和第二法兰,所述第一法兰的外侧设有入气口,所述第一法兰的内侧设有第一支架;所述第二法兰的外侧设有出气口,所述第二法兰的内侧设有第二支架;所述第一支架和第二支架相向侧处分别设有第一滚轴和第二滚轴,柔性基底缠绕在所述第一滚轴上并牵引至第二滚轴,电机带动第二滚轴转动;所述第一滚轴和第二滚轴均为可拆卸式滚轴。本实用新型以管式炉为基础,通过使基底连续通过加热区的方式来避免反复升温降温以及更换基底的过程,提高石墨烯制备的效率,同时减少能耗,提高能源利用率。