一种反应室石英支撑盘减薄的装置
基本信息
| 申请号 | CN202021612282.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212542368U | 公开（公告）日 | 2021-02-12 |
| 申请公布号 | CN212542368U | 申请公布日 | 2021-02-12 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I; | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘烨 | 申请（专利权）人 | 陕西宇腾电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 710000陕西省西安市雁塔区长安南路农林壹号小区1号楼1单元1902 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种反应室石英支撑盘减薄的装置，包括石英支撑盘，所述石英支撑盘设置有多个加强筋，所述石英支撑盘的中部开设有圆孔，所述石英支撑盘厚度为15mm。本实用新型通过将石英支撑盘1的厚度设置为15mm，在进行加工时，可以更好的适用于不同的薄膜材料，提高适用性。 |
