一种反应室4寸石墨盘防飞脱的装置
基本信息
| 申请号 | CN202021614959.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212713748U | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN212713748U | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘烨 | 申请（专利权）人 | 陕西宇腾电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 710000陕西省西安市雁塔区长安南路农林壹号小区1号楼1单元1902 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种反应室4寸石墨盘防飞脱的装置，包括晶圆，所述晶圆上设置有凹槽，所述凹槽设有角度13～15度的缩口，所述晶圆的底部设置有圆弧。本实用新型当在高温生长阶段，晶圆不会产生乔曲，此时搭配上整体行星式运转转速很高，可以减少晶圆产生飞脱。 |
