一种双向ESD保护器件
基本信息
| 申请号 | CN201911000838.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110649017A | 公开（公告）日 | 2020-01-03 |
| 申请公布号 | CN110649017A | 申请公布日 | 2020-01-03 |
| 分类号 | H01L27/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张鹏;杨钰琳;宋文龙 | 申请（专利权）人 | 江苏吉莱微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 启东吉莱电子有限公司 |
| 地址 | 226200 江苏省南通市启东经济开发区锦绣路1800号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种双向ESD保护器件，由N+衬底层101、P型外延层102和N+掺杂层103组成的芯片；所述N+衬底层101上方设P型外延层102，P型外延层102上方设N+掺杂层103；深隔离槽104位于芯片左右两侧，其中靠近芯片中心区域的深隔离槽104内设有掺杂的多晶浮岛108，隔离介质层105介于深隔离槽104与正面电极106之间，正面电极106位于N+掺杂层103和隔离介质层105上方，背面电极107形成于N+衬底层101之下。本发明针对普通电容、大电流泄放能力应用的ESD保护，采用槽栅隔离的纵向三极管结构，解决了集成电路静电释放问题。 |
