一种低电容保护器件及其制作方法

基本信息

申请号 CN202011367706.3 申请日 -
公开(公告)号 CN112331647A 公开(公告)日 2021-02-05
申请公布号 CN112331647A 申请公布日 2021-02-05
分类号 H01L27/02;H01L29/06 分类 基本电气元件;
发明人 许志峰;宋文龙;张鹏;刘志雄 申请(专利权)人 江苏吉莱微电子股份有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 卢海洋
地址 226200 江苏省南通市汇龙镇公园北路1261号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种低电容保护器件及其制作方法,该器件包括P型衬底材料(101),P型衬底材料(101)上设置P型外延层(102);P型外延层(102)上设置P型埋层(103)和介质层(104);P型埋层(103)上设置N型扩散区(105);介质层(104)和N型扩散区(105)上设置隔离介质层(106);隔离介质层(106)两侧分别设置金属区一(107)、金属区二(108)。本发明能够降低电容,得到更低的箝位电压。