一种低电容保护器件及其制作方法
基本信息
申请号 | CN202011367706.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112331647A | 公开(公告)日 | 2021-02-05 |
申请公布号 | CN112331647A | 申请公布日 | 2021-02-05 |
分类号 | H01L27/02;H01L29/06 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 许志峰;宋文龙;张鹏;刘志雄 | 申请(专利权)人 | 江苏吉莱微电子股份有限公司 |
代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 卢海洋 |
地址 | 226200 江苏省南通市汇龙镇公园北路1261号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种低电容保护器件及其制作方法,该器件包括P型衬底材料(101),P型衬底材料(101)上设置P型外延层(102);P型外延层(102)上设置P型埋层(103)和介质层(104);P型埋层(103)上设置N型扩散区(105);介质层(104)和N型扩散区(105)上设置隔离介质层(106);隔离介质层(106)两侧分别设置金属区一(107)、金属区二(108)。本发明能够降低电容,得到更低的箝位电压。 |
