一种太阳能级直拉硅单晶埚底料清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN201010615251.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102020426A | 公开（公告）日 | 2011-04-20 |
| 申请公布号 | CN102020426A | 申请公布日 | 2011-04-20 |
| 分类号 | C03C15/00(2006.01)I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 汪贺杏 | 申请（专利权）人 | 九晶（雅安）电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈逸良 |
| 地址 | 201617 上海市松江区长塔路399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种太阳能级直拉硅单晶埚底料清洗方法,通过氢氟酸浸泡去除石英和表面附着的少量金属离子；再通过混酸清洗，去除硅料表面残留的氟硅酸和氟硅酸盐；然后经纯水浸泡、超声波冲洗掉表面的酸液残留。经本发明处理后的埚底料完全可以达到太阳能级硅单晶原料的要求。 |
