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带有一次加料器的直拉单晶炉

基本信息

申请号 CN200820059264.4 申请日 -
公开（公告）号 CN201214688Y 公开（公告）日 2009-04-01
申请公布号 CN201214688Y 申请公布日 2009-04-01
分类号 C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 施美生;许雪松 申请（专利权）人 九晶（雅安）电子材料有限公司
代理机构 上海天翔知识产权代理有限公司 代理人 陈学雯
地址 201617上海市松江区长塔路399号
法律状态 -

摘要

摘要 带有一次加料器的直拉单晶炉，包括一个带有加热石英坩埚的直拉单晶炉本体，其特征在于，所述直拉单晶炉本体上设置有用于添加硅料的高纯透明石英玻璃管加料器，所述加料器的最大直径处尺寸为石英坩埚直径的40％～45％，所述加料器的总高度为石英坩埚高度的2～2.5倍，加料器的壁厚度为2～5mm。加料器有直圆筒形、圆锥台型、低端带有喇叭口型、低端带有收口型四种，可以满足不同形状种类的原料进行添加。采用本实用新型对提高大直径硅单晶的产能及成本的下降有明显的效果。产能能提高20％以上，成本可下降5％以上。