一种硅片酸洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202210552745.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114686901A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114686901A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C23G3/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周文;刘勇勋;魏航;王文彬;杨佐东 | 申请（专利权）人 | 重庆芯洁科技有限公司 |
| 代理机构 | 重庆乐泰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 401326重庆市九龙坡区西彭镇西彭园区D40标准厂房5号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片酸洗装置，属于酸洗技术领域，包括酸洗管，所述酸洗管内设置有酸洗单元，酸洗单元均包括转动环、矩形酸洗下框以及酸洗板，转动环通过连接轴与酸洗管转动连接，酸洗下框一端的连接有固定管，转动环的内部设有翻转电机，翻转电机的动力端与固定管固定连接，酸洗下框另一端连接在转动环上；酸洗板上开有若干通槽，通槽的四周均开有四个容纳槽，容纳槽内均设有转动组，每个转动组均包括连接在容纳槽内的转动电机和转动气缸，转动气缸连接有开有滑槽的固定块，滑槽中部设置有相向分布的两个夹持气缸，两个夹持气缸的输出端均连接夹持板，本申请能够解决现有技术中因硅片堆积在一起而导致对硅片酸洗效果不理想的技术问题。 |
