一种MEMS检测装置及其制造工艺
基本信息
| 申请号 | CN201310304674.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104296784B | 公开（公告）日 | 2017-02-15 |
| 申请公布号 | CN104296784B | 申请公布日 | 2017-02-15 |
| 分类号 | G01D3/08(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 于连忠;孙晨 | 申请（专利权）人 | 浙江芯动科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京金之桥知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院地质与地球物理研究所;浙江芯动科技有限公司 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种MEMS检测装置，包括：测量体以及与所述测量体相连接的盖板，所述测量体包括框架及设置在所述框架内自由活动的质量块，所述盖板与所述质量块之间设置有过载保护装置，所述过载保护装置包括弹性部及凸点；所述凸点设置在所述弹性部上，所述弹性部设置在所述质量块或所述盖板上，所述凸点限制所述质量块的运动幅度。从而在外部冲击力幅度超出检测装置的限定幅度时，保护质量块，进而保护检测装置。 |
