一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺
基本信息
| 申请号 | CN201310182168.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104166016B | 公开（公告）日 | 2016-06-01 |
| 申请公布号 | CN104166016B | 申请公布日 | 2016-06-01 |
| 分类号 | G01P15/18(2013.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙晨;于连忠 | 申请（专利权）人 | 浙江芯动科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京金之桥知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院地质与地球物理研究所;浙江芯动科技有限公司 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种高灵敏度三轴MEMS加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体为两层结构，每层包括外框架、内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接，所述质量块与所述内框架之间设置有梳状耦合结构，其中上层测量体的梳状耦合结构走向与下层测量体的梳状耦合结构走向在投影平面上相互垂直，所述上层测量体与所述下层测量体分别测量两个相互垂直方向上的加速度，所述上层测量体及下层测量体通过所述内框架形成在第三个方向上运动的整体，并通过测量与上下盖板之间电容的改变测量第三个方向上的加速度。本发明能够实现三轴同时检测，精度高，稳定性好。 |
