一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺
基本信息
| 申请号 | CN201310221840.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104215231B | 公开（公告）日 | 2016-12-28 |
| 申请公布号 | CN104215231B | 申请公布日 | 2016-12-28 |
| 分类号 | G01C19/5656(2012.01)I;G01C19/5663(2012.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 于连忠;张忠山;孙晨 | 申请（专利权）人 | 浙江芯动科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京金之桥知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院地质与地球物理研究所;浙江芯动科技有限公司 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪，包括：测量体、上盖板及下盖板，所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块；所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接；所述质量块与所述耦合框通过多个弹性梁相连接；所述质量块与所述固定块之间设置有第一梳状耦合结构；所述耦合框的一侧设置有支撑梁；所述耦合框通过所述支撑梁与所述基座相连接；所述耦合框的侧壁的上部及下部分别设置有谐振梁，所述谐振梁一端与所述耦合框相连接，另一端分别与基座相连接；所述谐振梁与所述基座之间还设置有第二梳状耦合结构；所述谐振梁以及所述第二梳状耦合结构用于检测转动角速度。 |
