一种MEMS陀螺仪及其制造工艺
基本信息
| 申请号 | CN201310221525.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104215232A | 公开（公告）日 | 2014-12-17 |
| 申请公布号 | CN104215232A | 申请公布日 | 2014-12-17 |
| 分类号 | G01C19/567(2012.01)I;G01C25/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 于连忠;孙晨 | 申请（专利权）人 | 浙江芯动科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京金之桥知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院地质与地球物理研究所;浙江芯动科技有限公司 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种MEMS陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接。所述质量块和内框架之间设置有四组相互对应的梳状耦合结构。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明通过测量盖板硅片与测量体之间的平板电容的变化来计算出旋转的角速度。本发明具有检测灵敏度、准确度高等特点。 |
