靶材背板及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202011182839.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112323026A | 公开（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申请公布号 | CN112323026A | 申请公布日 | 2021-02-05 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;B23P15/00(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周磊;窦沛静;张竞中 | 申请（专利权）人 | 珠海和泽科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张龙哺 |
| 地址 | 519045广东省珠海市金湾区联港工业区双林片区虹辉5路7号厂房3栋第一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，流道具有进液口和出液口，流道可供冷却液流动；盖板，设置于背板主体的背面并遮盖流道；密封圈，设置于盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用时，可将靶材设置于背板主体的正面，使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入，从出液口流出，冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。本发明还公开了一种靶材背板的制作方法，可以使最终得到的靶材背板尺寸更为精确，且可有效减小靶材背板长期使用后的变形量。 |
