一种MEMS压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201910831040.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110514350A | 公开（公告）日 | 2019-11-29 |
| 申请公布号 | CN110514350A | 申请公布日 | 2019-11-29 |
| 分类号 | G01L11/02;G01L1/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 冉小东;梅运桥;苏长远;钟少龙 | 申请（专利权）人 | 四川拜安科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 四川拜安科技有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市金牛高新技术产业园区蜀西路42号5栋1单元2楼1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于传感器技术领域，尤其为一种MEMS压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器，包括上法兰、下法兰和光电解调仪，所述上法兰和下法兰相互靠近的一侧固定安装有同一个大波纹管，大波纹管内设有小波纹管，上法兰和下法兰相互靠近的一侧均与小波纹管固定连接，大波纹管、小波纹管、上法兰和下法兰组成环形腔室，下法兰的底部固定安装有引压管，引压管与环形腔室连通，环形腔室和引压管内设有填充液，引压管上设有密封塞，引压管的底端螺纹安装有传感器封装结构件，传感器封装结构件的顶端固定安装有MEMS光纤F‑P压力传感器。本发明实用性高，具有结构尺寸小，抗干扰能力强，测量精确度高，便于远距离实时检测压力。 |
