一种对激光腔进行抽真空和换气的系统
基本信息
| 申请号 | CN201721172312.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207490298U | 公开（公告）日 | 2018-06-12 |
| 申请公布号 | CN207490298U | 申请公布日 | 2018-06-12 |
| 分类号 | H01S3/00;H01S5/00;F04B49/06 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 程仁彬;董乔 | 申请（专利权）人 | 天津市天坤光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 | 代理人 | 天津市天坤光电技术有限公司 |
| 地址 | 300457 天津市滨海新区开发区第四大街5号泰达生物医药研发大厦A区404室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种对激光腔进行抽真空和换气的系统，包括三向气路电磁阀、空气过滤器、抽气泵和控制系统，在激光器的激光腔内设置有湿度传感器和气压传感器，湿度传感器和气压传感器分别与控制系统相连，激光腔通过气管连接三向气路电磁阀的A口，空气过滤器通过气管连接空气流量调节阀，空气流量调节阀通过气管连接三向气路电磁阀的C口，抽气泵通过气管连接三向气路电磁阀的B口，控制系统分别与三向气路电磁阀和抽气泵相连。控制系统通过控制三向气路电磁阀和抽气泵完成抽真空和激光腔换气的循环工作，达到降低激光腔内湿度值并保证激光腔内元器件不长期处于真空环境下工作的目的。 |
