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一种真空腔体检漏辅助喷枪

基本信息

申请号 CN202121119056.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214893894U 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN214893894U 申请公布日 2021-11-26
分类号 G01M3/20（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 周环宇;周立平;刘英斌;杨凯;张馨丹 申请（专利权）人 山西烁科晶体有限公司
代理机构 太原高欣科创专利代理事务所（普通合伙） 代理人 崔雪花;冷锦超
地址 030006山西省太原市综改示范区太原唐槐园区唐槐路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种真空腔体检漏辅助喷枪，属于腔体检漏技术领域；包括控制模块、真空泵、氦气储存腔体、氦气回收腔体、收集罩；氦气储存腔体设置有气体流量计与喷射口，收集罩的上端封闭、下端开放，喷射口设置于收集罩内部，收集罩的端部侧壁内部设置有中空的抽气管道，侧壁下端面设置有若干个抽气口，抽气口与抽气管道相连通，真空泵的进气口通过双通电磁阀分别与抽气管道以及收集罩内部相连通，出气口通过双通电磁阀分别与外界以及氦气回收腔体内部相连通，控制模块与第一双通电磁阀、第二双通电磁阀、气体流量计、真空泵相电性连接；解决了现有氦气质谱仪方法进行检漏时存在漏点位置判断不准确、不同漏点检测时互相影响的问题。