一种用于圆片级键合中颗粒污染的在线检测结构
基本信息
| 申请号 | CN201410030779.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103779252B | 公开（公告）日 | 2016-05-04 |
| 申请公布号 | CN103779252B | 申请公布日 | 2016-05-04 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曾立天;焦斌斌 | 申请（专利权）人 | 江苏艾特曼电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 江苏艾特曼电子科技有限公司 |
| 地址 | 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号国际创新园C2楼三楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公布了一种用于圆片级键合中颗粒污染的在线检测结构，其特征在于：该结构包括盖帽、衬底、键合环、测试电极、引线焊盘、以及空腔；所述盖帽上有空腔；所述盖帽与衬底通过键合环连为一体；所述引线焊盘附着在衬底上，并位于在空腔之外；所述测试电极附着在衬底上，并位于空腔之中，并引出至引线焊盘与其电连接。本发明提供的用于圆片级键合中颗粒污染的在线检测结构，可以通过测试电极之间的电阻值或频率响应判断键合腔内是否存在颗粒污染以及颗粒污染出现的位置。 |
