三维空间光源系统及相关的光测量设备

基本信息

申请号 CN201721201675.8 申请日 -
公开(公告)号 CN207850536U 公开(公告)日 2018-09-11
申请公布号 CN207850536U 申请公布日 2018-09-11
分类号 G01J3/447;G01J3/10 分类 测量;测试;
发明人 王立峰;叶薇薇;李宇 申请(专利权)人 上海浦东新兴产业投资有限公司
代理机构 北京市金杜律师事务所 代理人 睿励科学仪器(上海)有限公司
地址 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型的各实施例涉及一种三维空间光源系统及其相关的光测量设备,其中三维空间光源系统包括:光源;以及彼此独立的多个光路,被配置为分别独立地耦合到所述光源;其中,所述多个光路进一步包括中间光路和多个外围光路,所述多个外围光路被配置为围绕所述中间光路进行布置并且能够作为次级光源进行输出。由此,本实用新型的三维空间光源系统只需一个光源即可满足椭圆偏振测量设备所需的多路光源需求,且结构简单、装调方便、易于维护。