晶圆清洁箱内微环境控制装置及控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201410110078.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104952759B | 公开（公告）日 | 2019-03-12 |
| 申请公布号 | CN104952759B | 申请公布日 | 2019-03-12 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王英; 周万泉; 李茂森; 陈宝龙 | 申请（专利权）人 | 上海浦东新兴产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种晶圆清洁箱内微环境控制装置，其适用于控制所述微环境以防止清洁后的晶圆被再次污染，包括：具有控制模块、温度探测器和压差计的控制部分、冷却气体输入管路、排气管路、不活泼气体输入管路以及去污干燥装置。该装置可在晶圆被加热清洁之后使晶圆清洁箱与冷却气体源可连通，向箱内输送冷却气体来将晶圆冷却至箱外环境温度；同时在冷却结束之后使晶圆清洁箱与不活泼气体源可连通，向箱内输送不活泼气体；另外，在冷却气体或不活泼气体进入晶圆清洁箱之前先进行干燥和去污，从而避免在晶圆的冷却过程以及晶圆进入下一道工序之前被再度污染。本发明还提供一种晶圆清洁箱内微环境控制方法。 |
