硅片吸盘
基本信息
| 申请号 | CN201510323807.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106252791B | 公开（公告）日 | 2019-02-19 |
| 申请公布号 | CN106252791B | 申请公布日 | 2019-02-19 |
| 分类号 | H01P1/10 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 屈俊健 | 申请（专利权）人 | 上海浦东新兴产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种硅片吸盘，其包括：至少一个安装通孔，该安装通孔由该硅片吸盘的第一表面延伸至与该第一表面相对的第二表面；至少一个阶梯销，该阶梯销被设置在安装通孔内；以及至少一个复位弹簧，该复位弹簧套在阶梯销上。此外，本发明还涉及一种硅片检测设备，其包括上述的硅片吸盘。根据本发明的硅片吸盘采用了纯机械结构，其结构简单、重量较轻、制造成本低并且使用方便。 |
