一种用于优化光学系统参数的方法和装置
基本信息
| 申请号 | CN201410542473.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105571483B | 公开（公告）日 | 2018-06-26 |
| 申请公布号 | CN105571483B | 申请公布日 | 2018-06-26 |
| 分类号 | G01B11/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王鑫;张振生;施耀明;徐益平 | 申请（专利权）人 | 上海浦东新兴产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区华佗路68号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种优化光学系统参数的方案，该方案中，对于多个测量模式中每一个测量模式，确定与该测量模式对应的系统噪声；对于待测结构模型的每个结构参数，通过确定该结构参数在该测量模式下的可控测量精度，并根据该结构参数在所述多个测量模式下的多个可控测量精度，确定该结构参数的一个或多个可选测量模式，并将该结构参数分别在所述一个或多个可选测量模式下的一个或多个可控测量精度，作为该结构参数对应的可控测量精度。 |
