物体表面高度快速定位的方法与装置
基本信息
| 申请号 | CN201410190950.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105091759B | 公开（公告）日 | 2018-08-24 |
| 申请公布号 | CN105091759B | 申请公布日 | 2018-08-24 |
| 分类号 | G01B11/03 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 党江涛;黄建华;李娟 | 申请（专利权）人 | 上海浦东新兴产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于物体表面高度快速定位的方法与装置，该方法包括：A.基于表征待测物体表面特征的第一曲面，确定测量点所对应的所述第一曲面中的第一位置；B.基于所述第一位置，确定所述测量点的聚焦位置。本发明通过ZMap数据，可以快速预估计任意点的聚焦位置，聚焦速度得到极大的提高。 |
