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用于光学关键尺寸测量的方法及装置

基本信息

申请号 CN201410234193.7 申请日 -
公开（公告）号 CN105444666B 公开（公告）日 2018-05-25
申请公布号 CN105444666B 申请公布日 2018-05-25
分类号 G01B11/00;G01B11/24 分类 测量；测试;
发明人 王鑫;施耀明;张振生;徐益平 申请（专利权）人 上海浦东新兴产业投资有限公司
代理机构 北京市金杜律师事务所 代理人 睿励科学仪器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明描述了一种在光学关键尺寸(OCD)测量设备中的提升光谱曲线匹配可靠性和测量精确度的方法及装置。其包括对各个待测结构参数在全体波长点的理论光谱进行灵敏度分析并获取灵敏度随波长分布；对各个待测结构参数的灵敏度随波长分布进行归一化处理；灵活设置统化权重系数并对所述归一化的灵敏度随波长分布进行统化处理；在理论光谱与测量光谱的匹配过程中在每个波长点设置匹配权重系数并对理论光谱与测量光谱进行评价优化操作以判定两者的匹配程度；这样，实现了匹配评价的优化设计并达到了待测结构参数拟合值精确度的提升。