基于前值的关键尺寸测量方法和设备
基本信息
| 申请号 | CN201510323992.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106289095B | 公开（公告）日 | 2019-02-19 |
| 申请公布号 | CN106289095B | 申请公布日 | 2019-02-19 |
| 分类号 | G01B11/24;G06F16/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张振生;施耀明;孙冬梅;陈慧萍 | 申请（专利权）人 | 上海浦东新兴产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于前值的关键尺寸测量方法和设备。该基于前值的测量方法，包括：A.获取样品在前次工艺步骤中的第一测量数据；B.构建样品在当前工艺步骤中的光谱数据库，其中，在当前工艺步骤中的样品轮廓与前次工艺步骤中的样品轮廓至少部分地相关联；C.在前次工艺步骤中的测量区域上获取样品在当前工艺步骤中的测量光谱；D.基于样品在前次工艺步骤中的轮廓参数的数据，在光谱数据库中对测量光谱进行匹配分析，进而确定样品在当前工艺步骤中的轮廓参数的数据。 |
