一种用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201911252189.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110931344B | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN110931344B | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | H01J49/04（2006.01）I;H01J49/40（2006.01）I;G01N27/64（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 卢瀚仑;陈志涛;王巧;刘宁炀 | 申请（专利权）人 | 广东省科学院半导体研究所 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 510000广东省广州市天河区长兴路363号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法，涉及检测技术领域。该靶片包括介质层与第一导电层，其中，介质层包括正面与背面，且介质层的正面上设置有一个或多个载样区；同时介质层与第一导电层连接，且第一导电层连接于介质层的背面；同时，根据实际需求该靶片还应包括第二和/或第三导电层。第二导电层连接于介质层正面载样区内、第三导电层连接于介质层正面非载样区。本申请提供的用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法具有信噪比更加理想、工艺简单，成本更低的优点。 |
