溶胶型硅片抛光剂
基本信息
| 申请号 | CN92108497.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1082584A | 公开（公告）日 | 1994-02-23 |
| 申请公布号 | CN1082584A | 申请公布日 | 1994-02-23 |
| 分类号 | C09G1/18 | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 刘凤伟;曹国琛;孙木根 | 申请（专利权）人 | 上海有色金属研究所 |
| 代理机构 | 上海第二专利事务所 | 代理人 | 西江 |
| 地址 | 上海市600-402信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种电子工业领域的基础材料，此材料的特点在于适用于超大规模集成电路的半导体器件上，抛光精度高，且使用方便。此溶胶型硅片抛光剂的最佳配方为：多晶硅还原炉尾气冷凝回收液99.25％，表面羟基化添加剂0.125％，凝胶转化溶胶添加剂0 5％，稳定活化添加剂0.025％，调节pH添加的量以pH值达12.5为准。 |
