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一种垂直探针卡装置及其检测方法

基本信息

申请号 CN202111376229.1 申请日 -
公开（公告）号 CN114034894B 公开（公告）日 2022-04-26
申请公布号 CN114034894B 申请公布日 2022-04-26
分类号 G01R1/067（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 王强;金永斌;贺涛;丁宁;朱伟 申请（专利权）人 法特迪精密科技（苏州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区兴浦路200号5#101、102、201、202
法律状态 -

摘要

摘要 本发明一种垂直探针卡装置及其检测方法涉及探针卡技术领域；所述垂直探针卡装置包括上层导板、中层导板、下层导板、变形连接装置、第一探针、第二探针、电路板和第一焊垫；上层导板、中层导板和下层导板分别对应设置有多个垂直限位通孔，上层导板和中层导板之间阵列设置有多个变形连接装置，多个所述第一探针的一端穿过上层导板的垂直限位通孔与对应设置的变形连接装置一端电性相连；所述垂直探针卡装置检测方法依次执行固定安装、对准定位、高度设定、施压推进和闭路测试步骤；本发明垂直探针卡装置及其检测方法解决了现有的探针的变形偏移问题、探针的接触问题和探针更换修复问题，以达到接触良好，针痕清晰，有效利用的效果。