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测试探针清洁方法的摩阻刮除方法

基本信息

申请号 CN202210126256.1 申请日 -
公开（公告）号 CN114405887A 公开（公告）日 2022-04-29
申请公布号 CN114405887A 申请公布日 2022-04-29
分类号 B08B1/00（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 贺涛;金永斌;丁宁;朱伟 申请（专利权）人 法特迪精密科技（苏州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区兴浦路200号5#101、102、201、202
法律状态 -

摘要

摘要 本发明测试探针清洁方法的摩阻刮除方法涉及半导体技术领域；具体为：通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔输入气体，在压力的作用下推动活塞向下移动，推动传动杆克服复位弹簧的弹力作用，进而带动移动片向下移动，通过弹性件推动刮除件向下移动，向下移动的刮除件与梅花探头的上端面棱角处相对应，并在弹性件的弹力的作用下，使刮除件的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下移动至梅花探头的底部时，再通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行吸气，逆向重复之前过程；本发明应用于测试探针清洁方法，能够有效代替人工清洁，保证了清洁质量和测试效率。