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测试探针清洁方法的粘性吸附方法

基本信息

申请号 CN202210126255.7 申请日 -
公开（公告）号 CN114414862A 公开（公告）日 2022-04-29
申请公布号 CN114414862A 申请公布日 2022-04-29
分类号 G01R1/073（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 贺涛;金永斌;丁宁;朱伟 申请（专利权）人 法特迪精密科技（苏州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区兴浦路200号5#101、102、201、202
法律状态 -

摘要

摘要 本发明测试探针清洁方法的粘性吸附方法涉及半导体技术领域；具体为：启动传动电机顺时针转动，带动主动梯形齿轮顺时针转动，主动梯形齿轮带动螺纹套筒逆时针转动，带动传动轴向下运动，通过固定片带动清洁软胶向下运动至与测试探针的上端面相抵靠，清洁软胶在与测试探针的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，将梅花探头上端面的杂质和灰尘粘在清洁软胶的表面上，调节传动电机逆时针转动，将之前的动作逆方向完成，清洁软胶相上运动至与测试探针的上端面相分离，以完成粘性吸附清洁工作；本发明应用于测试探针清洁方法，能够有效代替人工清洁，保证了清洁质量和测试效率。