测试探针清洁方法的探针固定方法
基本信息
| 申请号 | CN202210126254.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114472252A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114472252A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 贺涛;金永斌;丁宁;朱伟 | 申请（专利权）人 | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区兴浦路200号5#101、102、201、202 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明测试探针清洁方法的探针固定方法涉及半导体技术领域；具体为：调节待清洁的测试探针相对应的基座本体上的第一调节螺栓和第二调节螺栓，同时顺时针旋转第一调节螺栓和逆时针旋转第二调节螺栓，并旋转相同圈数，使第一丝杠螺母沿着第一调节螺栓的轴向方向拉动第一限位夹片向基座本体外移动一定距离，同时使第二丝杠螺母沿着第二调节螺栓的轴向方向拉动第二限位夹片向基座本体外移动与第一限位夹片等量的距离，第一限位夹片和第二限位夹片上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针的外壁相抵靠，以对测试探针进行固定；本发明应用于测试探针清洁方法，能够有效代替人工清洁，保证了清洁质量和测试效率。 |
