一种半导体精密阀门镜面处理方法
基本信息
| 申请号 | CN202010054672.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111230601B | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN111230601B | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | B24B1/00;B24B49/00;B24B49/16;B24B47/20;B24B37/02 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 苏毅昌;何伟湛;关复烨 | 申请（专利权）人 | 广东罗庚机器人有限公司 |
| 代理机构 | 广州君咨知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘智君 |
| 地址 | 528000 广东省佛山市禅城区华宝南路1号九座首层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体精密阀门镜面处理方法，应用于自动化设备对半导体精密阀门的加工中，本发明通过自动化设备夹持多种耗材对半导体精密阀门的各个面的不同尺寸的孔循序渐进地进行精密研磨和抛光处理，有效解决了人手打磨带来的劳动强度大、生产效率低、产品质量不稳定和耗材损耗快等问题，实现了半导体精密阀门打磨和抛光的自动化生产。 |
