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一种兼容大小键合力高速高精度紧凑型键合头

基本信息

申请号 CN201911392999.8 申请日 -
公开（公告）号 CN111128774A 公开（公告）日 2020-05-08
申请公布号 CN111128774A 申请公布日 2020-05-08
分类号 H01L21/603 分类 基本电气元件;
发明人 李玫;陈民杰;朱树存 申请（专利权）人 嘉兴景焱智能装备技术有限公司
代理机构 杭州永航联科专利代理有限公司 代理人 俞培锋
地址 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路33号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体封装技术领域，本发明的技术方案为：一种兼容大小键合力高速高精度紧凑型键合头，包括本体，所述本体包括：气缸，所述气缸的内部形成一中空的第一腔体，所述气缸上还开设有真空连接孔；活塞，所述活塞设置于第一腔体内；力矩电机，所述力矩电机为中空力矩电机，所述力矩电机的动子与气缸的缸壁相连接；柔性铰链，所述柔性铰链的外周与所述气缸的缸壁相连接，所述柔性铰链的中心部位与活塞相连；主轴，所述主轴为中空结构，所述主轴与所述活塞同轴连接；真空吸盘，与所述主轴相连接；旋转时，力矩电机的动子旋转通过柔性铰链的外周传至中心，气缸的缸壁与活塞同时旋转，带动主轴一起旋转，并通过旋转编码器给出反馈。