激光共聚焦多点测高系统
基本信息
申请号 | CN202023261877.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214426647U | 公开(公告)日 | 2021-10-19 |
申请公布号 | CN214426647U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
分类号 | G01B11/06(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 马双双 | 申请(专利权)人 | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 |
代理机构 | 上海霖睿专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 黄燕石;陈得宗 |
地址 | 314100浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路33号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及精密光学仪器测量系统技术领域,公开了一种激光共聚焦多点测高系统,包括激光光源和共聚焦直线光路,所述激光光源通过准直镜向分光棱镜发射激光,在所述激光光路的准直镜前方,设置微透镜阵列和第一分光镜,激光入射光位于第一分光镜的透光光路上,在所述第一分光镜的分光光路上设置第二分光镜,在所述第二分光镜的透光光路和分光光路上,分别设置正离焦PMT组和负离焦PMT组,在正离焦PMT组的光路上设置正离焦小孔组,在负离焦PMT组的光路上负离焦小孔组,所述微透镜阵列包括多个阵列排布的凸透镜。本实用新型针对待测面的实际分布通过微透镜阵列来实现更换测试范围,实现同时测量多个不同点的特征信息。 |
