一种等离子发生器

基本信息

申请号 CN200720103774.2 申请日 -
公开(公告)号 CN201017846Y 公开(公告)日 2008-02-06
申请公布号 CN201017846Y 申请公布日 2008-02-06
分类号 H01J37/00(2006.01);H05H1/24(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 王雨勃;朱长春;张涛;王力克 申请(专利权)人 北京理研社技术有限公司
代理机构 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 代理人 张涛
地址 100085北京市海淀区上地信息路12号发展大厦D区一层103
法律状态 -

摘要

摘要 为了解决现有探入式等离子发生装置存在的支撑架占用空间大、结构粗大的问题,本实用新型提供了一种新型等离子发生器。本实用新型包括柱状结构,设置于柱状结构一端的放电工作区,设置于柱状结构另一端的尾座,设置于基座的支撑架,其特征在于所述支撑架内设置有与所述柱状结构外围尺寸相适配的通孔或通槽,所述柱状结构可移动设置于所述通孔或通槽内。本实用新型避免了在工作腔外设置很大的支撑架妨碍其他作业;同时,柱状结构在支撑架上不必长时间处于悬臂状态,因此支撑架的结构变得小巧紧凑了。