一种显影装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111291709.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113960897A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113960897A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 许嘉俊;贾辛;刘志祥;胡廷辉;雷茸粮 | 申请（专利权）人 | 成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 江亚平 |
| 地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种显影装置及方法，包括显影槽、储存槽和温度控制单元。显影过程中，显影槽进液管阀门开启，循环泵从储存槽中抽取显影液进入显影槽，使显影液逐渐覆盖待显影基片。当液面到达溢流管后，显影液从溢流管回到储存槽，并在显影槽和储存槽中循环流动。显影结束后，显影槽进液管阀门关闭，排液管阀门开启。显影液通过排液管快速回到储存槽，待下次显影使用。储存槽中有显影液浓度检测仪，闭环控制显影液原液流入量和旧显影液流出量，使显影液浓度维持在设定范围内。温度控制单元和储存槽相连。本发明显影液同时接触待显影基片表面各个位置，并保持稳定的显影液浓度和温度，不需要每次全部更换显影液，提高了显影的效率、均匀性和稳定性。 |
