一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜
基本信息
| 申请号 | CN202111301759.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114019653A | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN114019653A | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | G02B13/00（2006.01）I;G02B13/22（2006.01）I;G01M11/02（2006.01）I;G01M11/04（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 何毅;廖志杰;刘卫静;付韬韬;蕾茸粮 | 申请（专利权）人 | 成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 江亚平 |
| 地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件，第一透镜具有正光焦度，第二透镜具有负光焦度，第一透镜和第二透镜构成成像前组，将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面，中间像面用于对所成的光斑进行处理，第三透镜至第六透镜具有正光焦度，其构成成像后组，将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路，后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面，满足正弦条件。 |
