一种方形基片夹持装置
基本信息
| 申请号 | CN202111576452.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114200777A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114200777A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | G03F7/16（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 许嘉俊;贾辛;刘志祥;胡廷辉;雷茸粮 | 申请（专利权）人 | 成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 金怡 |
| 地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种方形基片夹持装置，用于在方形基片表面旋转涂覆流动介质。该装置包括固定基片座和辅助定位盘。所述固定基片座底部为传动件，用于该装置与电机旋转轴之间的传动连接。传动件连接带有通孔的圆形托盘，圆形托盘上有定位台阶，其外轮廓为半圆，内部有矩形凹槽，与方形基片贴合，用于基片定位。辅助定位盘形状与定位台阶形状互为镜像，底部具有凸出结构，其形状与圆形托盘上通孔匹配。圆形托盘定位台阶深度与基片厚度相同，固定基片座、方形基片和辅助定位盘组合后形成光滑平坦的上表面，且外轮廓为圆柱形，可提高流动介质在基片表面旋转涂覆的均匀性。 |
