一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202111632964.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114279303A | 公开（公告）日 | 2022-04-05 |
| 申请公布号 | CN114279303A | 申请公布日 | 2022-04-05 |
| 分类号 | G01B5/245（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 徐富超;廖志杰;林妩媚;胡廷晖 | 申请（专利权）人 | 成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 金怡 |
| 地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法，该装置包括双面微柱面透镜阵列（101），第一小球（102），第二小球（103），绕Z轴的旋转台（105），沿X轴和Y轴的二维平移台（104），Z轴方向高度接触测量设备（106）和计算机（107）。第一小球（102），第二小球（103）为两个相同的小球，通过两个小球的定位和对测试数据的拟合处理，实现精确调整双面微柱面透镜阵列与运动轴的关系。通过对上下柱面轮廓数据的测试和数据处理，计算出两个柱面的母线方向，进而实现对双面微柱面透镜阵列垂直度的精确检测。 |
