一种衍射光学元件衍射效率测量装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202111240664.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113945364A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113945364A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | G01M11/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘卫静;廖志杰;何毅;谢强 | 申请（专利权）人 | 成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 江亚平 |
| 地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种衍射光学元件衍射效率测量装置和方法，该方法用于衍射光学元件衍射效率测量。采用分光法测量衍射光学元件衍射效率，可以有效减小光源能量不稳定对测量结果的影响，测量过程中，利用小孔光阑挡住高衍射级光斑，可以有效提高测量准确性，测量方法简单，高效。 |
