超大规模集成电路超净生产环境系统
基本信息
| 申请号 | CN201922065269.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212006019U | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN212006019U | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | F24F3/16(2006.01)I | 分类 | 供热；炉灶；通风; |
| 发明人 | 蒋乃军 | 申请（专利权）人 | 江苏苏净工程建设有限公司 |
| 代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张川 |
| 地址 | 215122 江苏省苏州市工业园区唯新路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于洁净室技术领域，具体涉及一种超大规模集成电路超净生产环境系统，包括洁净区和空调机房，洁净区在不同洁净间设置有第一高架地板和/或第二高架地板，第一高架地板为多孔板，第二高架地板为盲孔板；空调机房内设置有与新风空调相连通的风机过滤机组，该风机过滤机组包括设置不同洁净间的不同风机过滤单元，以分别调节风量。通过风机过滤机组和新风空调配合使用，可以根据洁净区内各洁净间的实际需要设定新风空调的功率、风机过滤单元设置方式，因而可调节洁净区内不同洁净间的压力分布、温湿度等，同时使洁净区具有更高洁净度，降低了运行费用，改善了工作环境，为超大规模集成电路的生产提供了超净环境。 |
