一种基于扫描拼接的大尺寸曝光光源
基本信息
| 申请号 | CN202020865009.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211979422U | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN211979422U | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张博;李康 | 申请（专利权）人 | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 代理机构 | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 地址 | 453000河南省新乡市红旗区新东大道166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于扫描拼接的大尺寸曝光光源，包括曝光光源组合，所述曝光光源组合的右侧设有倾斜45度角放置的第一反射镜，所述曝光光源组合和第一反射镜的上方设置有扫描平台，所述扫描平台的上表面设有与第一反射镜上下对应的掩膜板，所述掩膜板的正上方设有倾斜135度角放置的第二反射镜，所述第二反射镜的左侧设置有投影镜头组合，所述投影镜头组合的左侧设置有倾斜45度角放置的第三反射镜，通过两排多个曝光光源组合在X和Y方向上进行拼接扫描曝光，可以实现曝光图形间的无接缝拼接，多个光源组合以扫描的方式实现大面积的曝光视场，既降低了系统的成本，还可以提高曝光的生产效率。 |
