一种大功率多波段曝光光源
基本信息
| 申请号 | CN202010345413.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111458988A | 公开（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申请公布号 | CN111458988A | 申请公布日 | 2020-07-28 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张博;李康;王艳军;陈龙飞;刘琴 | 申请（专利权）人 | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 代理机构 | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 地址 | 453000河南省新乡市红旗区新东大道166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大功率多波段曝光光源，包括多波段UV‑LED光源模组、激光光源模组、合光器、整形器件组、光学积分器和曝光组件；以多波段UV‑LED环形光斑和激光光斑耦合的方式实现台面的平行光曝光，可以实现台面不同波段的大功率输出，能够显著提升曝光的质量，还可以实现不同紫外工作波段的快速切换，对于台面不同类型光刻胶及不同曝光能量的需求具有更好的适用性。 |
