一种时分复用曝光光源
基本信息
| 申请号 | CN202010405848.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111505911A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111505911A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | - |
| 发明人 | 张博;李康 | 申请（专利权）人 | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 代理机构 | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 地址 | 453000 河南省新乡市红旗区新东大道166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块、准直透镜组、转向棱镜组、数字微反射镜、投影镜头和曝光台面，该时分复用曝光光源通过脉冲出射组件中相邻紫外光源的脉冲间隔同数字微反射镜工作状态切换的脉冲间隔匹配，可以有效消除曝光台面的“拖影”现象，提高曝光质量，同时，工作在脉冲模式的光源可以通过控制占空比获得较大的脉冲能量输出，多光源按时间先后依次曝光，进一步降低了曝光光源的占空比，有利于光源的过载保护和有效散热，可以获得稳定的光功率输出。 |
