一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源
基本信息
| 申请号 | CN202020579195.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213018989U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213018989U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | F21V5/04(2006.01)I;F21Y115/10(2016.01)N;G03F7/20(2006.01)I;F21K9/69(2016.01)I;F21V19/00(2006.01)I | 分类 | 照明; |
| 发明人 | 王艳军;张博;张文战 | 申请（专利权）人 | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 代理机构 | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨杰 |
| 地址 | 453000河南省新乡市红旗区新东大道166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，包括LED光源组件，通过将LED阵列芯片、聚光透镜、异形光学积分器和准直透镜做一体化紧密胶合，具备聚光、匀光和准直功能，能够提高LED阵列光源的光功率利用率，减小了光路调整的难度，能提供更高的生产效率。同时提出了一种以一体封装的LED阵列光源作为曝光光源的光路系统，增加了二次匀光，保证曝光台面较高的均匀性。 |
