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一种硅片双面清洗机

基本信息

申请号	CN201820036687.8	申请日	-
公开（公告）号	CN208225847U	公开（公告）日	2018-12-11
申请公布号	CN208225847U	申请公布日	2018-12-11
分类号	H01L21/67;H01L21/687	分类	基本电气元件;
发明人	姜涛;阳军;吴会旭;李钊	申请（专利权）人	苏州聚晶科技有限公司
代理机构	苏州市指南针专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	李先锋
地址	215000 江苏省苏州市相城区太平街道聚金工业坊顺乐路
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种硅片双面清洗机，其特征在于包括箱体、支架、第一气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、固定座、第二气缸、滑动板、支座、第一伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹爪气缸、自清洗机构、第二伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头，第一气缸带动斜面推头下移将硅片夹紧，第二伺服电机驱动针型喷头对硅片上表面清洗，自清洗机构工作将用于夹持的垫板上的灰尘去除，夹爪气缸带动自清洗机构将硅片夹紧，第一伺服电机驱动夹爪气缸翻转180°，第二伺服电机驱动针型喷头对硅片上表面清洗。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，同时，能将硅片翻转180°进行双面清洗，有效提高清洗效率及清洗质量。